1. 概述
ZDR數(shù)顯電阻真空計(jì),是目前國(guó)內(nèi)的新型真空計(jì)測(cè)量?jī)x器,它采用微機(jī)控制、數(shù)字顯示,具有測(cè)量精度高,控制準(zhǔn)確方便,顯示直觀的特點(diǎn),它的測(cè)量是范圍是1×105~1×10-1pa,適用于測(cè)量范圍寬,反映靈敏的粗、低真空的測(cè)量.它不僅可以代替指針式真空表作遠(yuǎn)距離觀察,它還具有控制功能。我們應(yīng)用此真空計(jì)來控制我公司菊酯生產(chǎn)線羅茨真空泵的開、停機(jī)。
2. 工作原理
電阻計(jì)的工作原理是基于在低壓強(qiáng),利用氣體分子的熱傳導(dǎo),在高壓時(shí),利用氣體分子的對(duì)流傳熱特性,使得電阻規(guī)的電阻隨所測(cè)系統(tǒng)的壓強(qiáng)變化而變化。電阻規(guī)的電阻與壓強(qiáng)的變化是一種非線性關(guān)系,鑒此本機(jī)采用微機(jī)對(duì)此線性進(jìn)行誤差修正,從而提高了測(cè)量精度。
由壓強(qiáng)變化所引起的電阻規(guī)電阻值的變化,由測(cè)量橋路輸出電壓信號(hào),由放大器放大,經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換換入微機(jī)進(jìn)行非線性處理,最后送顯示器顯示。其工作原理框圖如下
3.零點(diǎn)、滿度校準(zhǔn)
由于電阻規(guī)制度時(shí)材料、工藝、裝置等方面的因素,不同電阻規(guī)的性能有差異。因此,在使用新的電阻規(guī)時(shí),需對(duì)該電阻規(guī)的性能連同儀器進(jìn)行進(jìn)行零點(diǎn)和滿度的校準(zhǔn),以減少測(cè)量誤差。其方法如下:首先校準(zhǔn)零點(diǎn),對(duì)被測(cè)真空系統(tǒng)抽真空,確定被測(cè)真空度高于1.0E