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職務(wù)

北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)股份有限公司副總工程師

2022主要業(yè)績(jī)

及所獲榮譽(yù)

何茂棟長(zhǎng)期致力于集成電路領(lǐng)域高端裝備的設(shè)計(jì)開發(fā)及國(guó)產(chǎn)化應(yīng)用，先后參與國(guó)家863項(xiàng)目、國(guó)家科技重大專項(xiàng)、北京市科委項(xiàng)目等多個(gè)重點(diǎn)項(xiàng)目的研究開發(fā)。2014年加入集成電路專用溫控設(shè)備項(xiàng)目組，帶領(lǐng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)開發(fā)出40多種型號(hào)的溫控設(shè)備。所開發(fā)的溫控設(shè)備采用先進(jìn)的智能控制算法對(duì)溫度進(jìn)行精密控制，經(jīng)過科技成果評(píng)價(jià)，溫控設(shè)備整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，其中溫控精度處于國(guó)際領(lǐng)先，在集成電路制造領(lǐng)域得到批量應(yīng)用，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超過50%，創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)效益超過12億元，成功的實(shí)現(xiàn)了國(guó)外進(jìn)口高端溫控設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化替代，解決了集成電路專用溫控設(shè)備長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷及“卡脖子”的問題，促進(jìn)“中國(guó)芯”的健康良性發(fā)展。發(fā)表論文6篇，獲授權(quán)發(fā)明專利38項(xiàng)，實(shí)用新型專利33項(xiàng)，軟件著作權(quán)20項(xiàng)，多次榮獲省部級(jí)科技獎(jiǎng)及榮譽(yù)獎(jiǎng)。

一、2022年主要業(yè)績(jī)：

（1）獲科技進(jìn)步獎(jiǎng)的溫控設(shè)備項(xiàng)目。集成電路制造過程中的刻蝕工藝對(duì)溫度具有極其嚴(yán)格的要求，要求-40℃~90℃寬溫度范圍，同時(shí)要求溫控設(shè)備可以適應(yīng)負(fù)載的劇烈變化，實(shí)現(xiàn)溫度的精確控制，該低溫溫控設(shè)備長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷，在工作中設(shè)計(jì)開發(fā)了面向先進(jìn)刻蝕工藝的低溫溫控設(shè)備，經(jīng)過嚴(yán)苛的測(cè)試得到批量推廣應(yīng)用，該項(xiàng)目科技成果2022年獲北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)、機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步三等獎(jiǎng)；

（2）應(yīng)用于國(guó)家科技重大專項(xiàng)的溫控設(shè)備開發(fā)。集成電路制造過程中工藝越來越復(fù)雜，對(duì)溫控設(shè)備的要求也越加苛刻，2022年開發(fā)的集成電路專用溫控設(shè)備成功應(yīng)用到客戶承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)中，經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)極其嚴(yán)格驗(yàn)證，溫控設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定各項(xiàng)性能指標(biāo)滿足要求，成功實(shí)現(xiàn)國(guó)外進(jìn)口高端溫控設(shè)備的有效替代，是目前國(guó)內(nèi)唯一可以匹配該重大專項(xiàng)的設(shè)備，成為該項(xiàng)目指定的溫控設(shè)備；

（3）國(guó)內(nèi)首創(chuàng)產(chǎn)品。在集成電路的制造過程中部分工藝制程需要進(jìn)行快速的溫度切換，根據(jù)該工藝要求設(shè)計(jì)開發(fā)了半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）T-320，經(jīng)過客戶驗(yàn)證各項(xiàng)性能滿足要求，該產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，2022年經(jīng)過北京市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)的鑒定成為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)產(chǎn)品，獲263萬元資金支持，用于后續(xù)產(chǎn)品系列化升級(jí)及推廣應(yīng)用；

（4）金橋種子工程項(xiàng)目。針對(duì)泛林半導(dǎo)體公司LAM的低溫要求，設(shè)計(jì)開發(fā)集成電路專用的低溫溫控設(shè)備，該項(xiàng)目2022年獲北京市科協(xié)金橋種子資金C類項(xiàng)目支持；

（5）新技術(shù)新產(chǎn)品認(rèn)定。設(shè)計(jì)開發(fā)的半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備V200等共計(jì)5款產(chǎn)品2022年獲北京市新技術(shù)新產(chǎn)品認(rèn)定，半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備Y-8050DC獲高新技術(shù)產(chǎn)品認(rèn)定；

（6）SEMI認(rèn)證。設(shè)計(jì)開發(fā)的半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備V102等共計(jì)11款產(chǎn)品2022年通過國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)SEMI認(rèn)證，為產(chǎn)品進(jìn)入集成電路制造產(chǎn)線奠定基礎(chǔ)。

二、所獲榮譽(yù)

    1、2022年獲全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)拢?/p>

    2、2022年獲北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)，二等獎(jiǎng)；

3、2022年獲機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)，三等獎(jiǎng)；

4、2022年獲“北京榜樣”提名人物獎(jiǎng)；

5、2022年獲“國(guó)企楷模·北京榜樣”創(chuàng)新楷模；

6、2022年獲京儀集團(tuán)科技成果獎(jiǎng)，一等獎(jiǎng)；

推薦理由

集成電路專用溫控設(shè)備是集成電路制造領(lǐng)域的核心關(guān)鍵設(shè)備之一，涵蓋機(jī)、電、水、制冷、控制等學(xué)科的知識(shí)，該設(shè)備的成功研制打破國(guó)外廠家的壟斷解決了“卡脖子”的問題，推動(dòng)集成電路制造領(lǐng)域高端裝備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，對(duì)我國(guó)在集成電路制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)快速發(fā)展具有積極重要的意義。

集成電路專用溫控設(shè)備在控制過程中受多個(gè)變量的影響，難以建立溫度控制過程的精確數(shù)學(xué)模型，在實(shí)際的控制過程中具有較大的控制難度。何茂棟從設(shè)備的熱傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)進(jìn)行推理，研究和設(shè)計(jì)其中的溫度控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)集成電路制造過程中溫度的精密控制。在設(shè)備的開發(fā)過程中采用先進(jìn)的智能控制算法對(duì)系統(tǒng)的制冷、加熱進(jìn)行控制，使系統(tǒng)的溫度能夠快速、精確的達(dá)到工藝制程的要求。其開發(fā)的集成電路專用溫控設(shè)備系列產(chǎn)品能夠滿足最先進(jìn)半導(dǎo)體工藝制程的要求，能夠匹配國(guó)內(nèi)外主流的刻蝕工藝設(shè)備，在國(guó)內(nèi)8英寸、12英寸的集成電路制造產(chǎn)線得到廣泛的應(yīng)用，創(chuàng)造了較好的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益，有力地促進(jìn)了國(guó)內(nèi)集成電路制造領(lǐng)域健康良性發(fā)展。