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編者按

納米制造技術(shù)涉及信息、材料、環(huán)境、能源、生物醫(yī)學(xué)、農(nóng)業(yè)、航空航天和國防安全等眾多領(lǐng)域核心產(chǎn)品的制造，對未來國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到重要的支撐作用。納米制造已成為世界發(fā)達(dá)國家技術(shù)競爭的制高點。

為提升我國納米制造領(lǐng)域的源頭創(chuàng)新能力，國家自然科學(xué)基金委員會（以下簡稱“自然科學(xué)基金委”）于2009年正式啟動了“納米制造的基礎(chǔ)研究”重大研究計劃，以解決國家重大需求為導(dǎo)向，發(fā)展原創(chuàng)的納米制造新原理與新方法，致力于解決我國納米制造的瓶頸問題與“卡脖子”技術(shù)難題。

經(jīng)過8年的通力協(xié)作與奮斗，納米制造過程的尺度、精度與批量制造相關(guān)的若干關(guān)鍵科學(xué)問題與技術(shù)難題得到解決，納米制造工藝與裝備的理論體系與技術(shù)基礎(chǔ)初步建立，為納米制造的一致性和批量化提供了理論基礎(chǔ)和技術(shù)裝備支持——中國制造開啟了納米精度時代！

本期自然科學(xué)基金版將總結(jié)該重大研究計劃取得的研究進(jìn)展，展示該計劃取得的研究成果。

“精度”上的創(chuàng)新

“明確我國科技創(chuàng)新主攻方向和突破口，努力實現(xiàn)優(yōu)勢領(lǐng)域、關(guān)鍵技術(shù)重大突破，主要創(chuàng)新指標(biāo)進(jìn)入世界前列。”2018年5月，習(xí)近平總書記在兩院院士大會上對“創(chuàng)新”提出了新要求。這也是半年來科學(xué)家在為自然科學(xué)基金委重大研究計劃“納米制造的基礎(chǔ)研究”梳理總結(jié)成果時，不斷對照的標(biāo)準(zhǔn)。

“什么是創(chuàng)新？創(chuàng)新，就是把好的點子做出來。”2019年1月，該重大研究計劃畫上圓滿句號時，中國工程院院士、該重大研究計劃專家指導(dǎo)組組長、西安交通大學(xué)教授盧秉恒對《中國科學(xué)報》這樣闡述他心中的“創(chuàng)新”。

時間回溯至20世紀(jì)初，美國國家納米技術(shù)計劃（NNI）的啟動，掀起了納米科學(xué)和技術(shù)的熱潮。隨后，包括生物分子馬達(dá)、納米機器人、納米傳感器、納米智能器件等在內(nèi)的一系列納米科學(xué)研究成果不斷在實驗室涌現(xiàn)。

當(dāng)時，我國機械制造領(lǐng)域的專家敏銳地意識到，作為納米科學(xué)走向納米技術(shù)的橋梁，納米制造將成為世界發(fā)達(dá)國家技術(shù)競爭的制高點。2009年，該重大研究計劃的資助下，中國制造領(lǐng)域的專家聯(lián)合相關(guān)領(lǐng)域的科學(xué)家開始探討如何布局中國納米制造未來發(fā)展。

“納米制造的基礎(chǔ)研究”重大研究計劃亦在彼時啟動醞釀。專家們將“納米制造”定義為“通過納米精度制造、納米尺度制造、跨尺度制造為產(chǎn)品和器件提供一定功能的過程”。

盧秉恒和現(xiàn)任清華大學(xué)機械學(xué)院院長、中科院院士雒建斌分別出任該重大研究計劃專家組正副組長。“我們的考慮是，通過這個重大研究計劃，面向我國重大戰(zhàn)略需求，引領(lǐng)中國制造精度水平的提升”——他們提出了這樣的目標(biāo)。

2019年1月，該重大研究計劃順利通過評估。8年來，在該重大研究計劃支持下，科學(xué)家們?nèi)〉玫亩囗棾晒麕又圃鞂W(xué)科取得跨越發(fā)展。評估會上，專家組自豪地評價：“中國制造開啟了納米精度時代！”

把論文寫在生產(chǎn)線上

近年來，有關(guān)“卡脖子”技術(shù)的議題在國內(nèi)備受關(guān)注。科學(xué)家們認(rèn)識到，只有突破關(guān)鍵領(lǐng)域的核心技術(shù)，才能徹底消除“卡脖子”的隱憂。而要實現(xiàn)關(guān)鍵領(lǐng)域核心技術(shù)的突破，首先要有好的點子——要從中國自己的基礎(chǔ)研究做起。

“中國在芯片制造裝備方面起步很晚，初始階段主要是電子學(xué)專家研究集成電路，幾乎沒有裝備領(lǐng)域的大團隊從事芯片裝備的研發(fā)。”雒建斌坦言。直到2000年，我國高校和研究院所才逐步形成了相關(guān)的研究團隊，陸續(xù)開展芯片制造理論、工藝和裝備研發(fā)。

慶幸的是，作為我國資助基礎(chǔ)研究的主渠道，自然科學(xué)基金委在2009年啟動該重大研究計劃時，布局了突破芯片制造相關(guān)核心技術(shù)的基礎(chǔ)研究。

8年里，科學(xué)家們從基礎(chǔ)理論的“好點子”開始，揭示了納米尺度與納米精度下加工、成形、改性和跨尺度制造中的尺度效應(yīng)、表面/界面效應(yīng)等規(guī)律，建立了納米制造理論基礎(chǔ)及工藝與裝備原理，為實現(xiàn)納米制造的一致性與批量化提供了理論基礎(chǔ)。

例如，清華大學(xué)的納米制造團隊提出了化學(xué)機械去除理論，實現(xiàn)了單晶硅原子層的可控去除，相關(guān)結(jié)果發(fā)表在《自然—通訊》上。美國科學(xué)促進(jìn)會曾評價：“該發(fā)現(xiàn)開創(chuàng)了在原子精度實現(xiàn)電子材料加工的新方法，這將是未來電路元器件加工精度進(jìn)一步提升至原子尺度控制水平的關(guān)鍵。”關(guān)于拋光顆粒的研究作為成果“摩擦過程的微粒行為和作用機制”的主要內(nèi)容獲得2018年度國家自然科學(xué)獎二等獎。

隨后，科學(xué)家將基礎(chǔ)研究成果拓展至工程應(yīng)用。2015年10月，國產(chǎn)首臺12英寸拋光設(shè)備進(jìn)入芯片制造大生產(chǎn)線，其主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國際先進(jìn)水平，有效實現(xiàn)了關(guān)鍵裝備國產(chǎn)化。

沒有該重大研究計劃支持下的基礎(chǔ)研究原理創(chuàng)新，就沒有生產(chǎn)線上的高端機器。不過，在科學(xué)家看來，該重大研究計劃形成的新原理依然有許多未實現(xiàn)工業(yè)應(yīng)用，對“卡脖子”技術(shù)的貢獻(xiàn)還有待進(jìn)一步提升。

學(xué)科交叉共融

回顧8年來的研發(fā)經(jīng)歷，雒建斌對學(xué)科交叉共融感觸頗深。“裝備本身是個大型機械，各個機構(gòu)的設(shè)計離不開機械原理學(xué)科，運動系統(tǒng)的控制離不開自動化學(xué)科，而拋光過程則需要物理和化學(xué)知識。”他告訴《中國科學(xué)報》。

據(jù)了解，在強調(diào)學(xué)科交叉共融方面，該重大研究計劃突破傳統(tǒng)的一級學(xué)科交叉，實現(xiàn)跨學(xué)部交叉。統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，8年來，在該重大研究計劃資助的項目中，交叉項目資助金額占比18.5%，資助項目論文成果涉及28個學(xué)科。

難能可貴的是，這些交叉學(xué)科又在主要的科學(xué)問題上得到共融。例如，不同學(xué)科的科學(xué)問題都具有明顯的“制造”屬性，即如何保證納米制造過程的高精度、批量化和一致性。

西安交通大學(xué)納米制造研究團隊自2001年起從事納米壓印方面的研究，如今已將壓印工藝的精度提高到納米量級。壓印工藝采用機械制造領(lǐng)域模板復(fù)形的概念制造納米結(jié)構(gòu)，可以形象地理解為用“月餅印”在月餅表面印出花紋。

據(jù)該團隊青年科學(xué)家邵金友介紹，在傳統(tǒng)壓印技術(shù)難以走向工程應(yīng)用的現(xiàn)實情況下，2008年后，團隊發(fā)明了界面電荷調(diào)控的納米壓印技術(shù)，突破了尺度效應(yīng)，使壓印力和脫模力都得到大幅降低，這一技術(shù)就是制造學(xué)科與物理學(xué)科交叉融合的結(jié)果。

另外，在該重大研究計劃集成項目支持下，制造專家也與化學(xué)家的思想碰撞出火花。將電化學(xué)反應(yīng)原理與模板約束成形技術(shù)相結(jié)合，廈門大學(xué)田中群院士研究團隊發(fā)明了以約束刻蝕劑層技術(shù)（CELT）為支撐的納米結(jié)構(gòu)模板調(diào)制成形新方法，以接觸電勢誘導(dǎo)腐蝕的去除方式實現(xiàn)了半導(dǎo)體材料的電化學(xué)直接壓印成形，縮短了半導(dǎo)體材料成形的工藝鏈。業(yè)內(nèi)專家認(rèn)為，這種化學(xué)腐蝕和壓印相結(jié)合的方法，擴大了壓印材料的種類。

凝聚人才隊伍

在盧秉恒看來，凝聚全國范圍內(nèi)的微納制造人才，是該重大研究計劃重要貢獻(xiàn)之一。“8年前，我國制造行業(yè)以傳統(tǒng)制造為主，大家著重于研究討論鍛造、焊接、沖壓等傳統(tǒng)方法。”他回憶。

該重大研究計劃實施的8年，逐漸形成了我國微納制造領(lǐng)域的“國家隊”。許多年輕科研人員的科研生涯深受該重大研究計劃的影響，從參與者逐漸成為科研骨干人才。

“自然科學(xué)基金委組織的重大研究計劃提供了一個平臺，把人才聚集起來。”一名重大研究計劃科學(xué)家告訴《中國科學(xué)報》，“在參與重大研究計劃的過程中，我認(rèn)識了許多同行，在各類交流中互相啟發(fā)和幫助。”

據(jù)統(tǒng)計，該重大研究計劃實施期間，8位科研人員當(dāng)選中國科學(xué)院或中國工程院院士，18位科研人員獲得國家杰出青年基金資助，另培養(yǎng)了974名博士后、碩士、博士。在科學(xué)家們看來，這都是該重大研究計劃在人才凝聚方面交出的優(yōu)異成績單。

面向未來，盧秉恒指出，科學(xué)家們正在爭取新一期重大研究計劃的支持。“希望能將精度從原子層級做到原子級，為發(fā)展人工智能、生命科學(xué)等科學(xué)前沿應(yīng)用，制造三維芯片提供支持。”他憧憬著。

摘自《中國科學(xué)報》