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產(chǎn)品概述：

E202納米級分辨率電渦流位移傳感器采用阻抗分離技術(shù)，設(shè)計(jì)一種全新的基于特殊參數(shù)設(shè)計(jì)交流電橋和鎖定放大器的阻抗分離測量電路，可以精確測量線圈電阻和電感的微小變化量，極大地提高渦流傳感器的靈敏度和分辨率。本項(xiàng)目解決了阻抗分離技術(shù)、智能溫漂補(bǔ)償技術(shù)、高Q值帶通濾波器的噪聲抑制等核心技術(shù)問題。針對目前市場上精密位移傳感器領(lǐng)域由國外企業(yè)如德國米銥（Micro-Epsilon）、美國卡曼（Kaman）、德國PI（Physik Instrumente）和日本基恩士（Keyence）等主導(dǎo)的現(xiàn)狀，旨在打破這一壟斷格局。國內(nèi)生產(chǎn)商普遍只能提供低精度的位移傳感器，分辨率在0.1μm以上，并且存在穩(wěn)定性差、使用壽命短等問題。與國際先進(jìn)水平相比，國內(nèi)產(chǎn)品在精度和穩(wěn)定性方面有較大差距，關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)甚至相差一個(gè)數(shù)量級。2023年5月5日，E202納米級分辨率電渦流位移傳感器產(chǎn)品通過了廣東產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)研究院的檢驗(yàn)，性能指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平，準(zhǔn)靜態(tài)分辨率達(dá)到了8納米。2023年6月2日，產(chǎn)品經(jīng)中國科學(xué)院中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)科技查新咨詢中心鑒定為國內(nèi)空白，表明該產(chǎn)品填補(bǔ)了國內(nèi)市場的空白。

性能特點(diǎn)：

（1）采用全橋電路設(shè)計(jì)并抑制了電路的噪聲使得傳感器樣機(jī)實(shí)現(xiàn)了40nm的動(dòng)態(tài)分辨率（10kHz）和8nm的準(zhǔn)靜態(tài)分辨率（20Hz）。

（2）研發(fā)智能溫漂補(bǔ)償技術(shù)，采用獨(dú)立高精度、低溫度漂移的電阻全橋作為信號源的溫度漂移檢測電路，并對探測線圈電感和電阻值進(jìn)行同步測量，實(shí)現(xiàn)傳感器溫度漂移的自動(dòng)校正和補(bǔ)償，使傳感器系統(tǒng)的溫度漂移小于50nm/℃。

（3）研究采用渦流等效圓環(huán)和變壓器模型分析渦流傳感器響應(yīng)的理論模型，量化目標(biāo)材料電導(dǎo)率和工作頻率、線圈參數(shù)等對傳感器性能的影響，對探測線圈繞制、貼裝工藝進(jìn)行改進(jìn)，采用高強(qiáng)度的粘合劑及熱穩(wěn)定性性能優(yōu)異的支架結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)探頭的高穩(wěn)定性。

適用領(lǐng)域：

解決航空航天、高端精密制造、科教、軍工、半導(dǎo)體等諸多領(lǐng)域的測控瓶頸，帶動(dòng)精密位移傳感器及檢測系統(tǒng)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展，促進(jìn)我國高端精密制造產(chǎn)業(yè)技術(shù)的突破，形成精密制造產(chǎn)業(yè)基地。

推薦理由：

該技術(shù)通過阻抗分離技術(shù)和全橋電路設(shè)計(jì)，能夠精確測量線圈電阻和電感的微小變化量，極大地提高了渦流傳感器的靈敏度和分辨率。同時(shí)，研發(fā)的智能溫漂補(bǔ)償技術(shù)實(shí)現(xiàn)了傳感器溫度漂移的自動(dòng)校正和補(bǔ)償，使傳感器系統(tǒng)的溫度漂移小于50nm/℃。此外，該技術(shù)具有很強(qiáng)的擴(kuò)展性，可以提供定制化的大型拼接光學(xué)鏡面邊緣位移監(jiān)測系統(tǒng)、飛機(jī)翼身對接間隙監(jiān)測系統(tǒng)、飛機(jī)復(fù)合材料成型質(zhì)量檢測系統(tǒng)、光刻機(jī)物鏡精密檢測系統(tǒng)等解決方案，廣泛應(yīng)用于軍民融合、航空航天、科教、半導(dǎo)體等諸多行業(yè)領(lǐng)域。最重要的是，該技術(shù)可以大幅提高國內(nèi)電渦流位移傳感器的精度和穩(wěn)定性，直接對標(biāo)國際公司高端型號位移傳感器，打破國際技術(shù)封鎖，加速推進(jìn)精密位移傳感器的國產(chǎn)化進(jìn)程。因此，該技術(shù)憑借其高精度、穩(wěn)定性好、擴(kuò)展性強(qiáng)、應(yīng)用廣泛和國產(chǎn)化等優(yōu)點(diǎn)，值得推薦。