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中廣網(wǎng)西安6月16日消息，列入國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃（863計劃）的“耐高溫壓力傳感器”經(jīng)過四年艱苦攻關(guān)，最近在西安交大研制成功。我國高溫壓力傳感器產(chǎn)品長期依賴進口的局面從此將徹底改變。
耐高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、石油化工、汽車等領(lǐng)域高溫環(huán)境下的壓力測量。如測量航空航天發(fā)動機燃燒室在啟動、停車、不穩(wěn)定燃燒期間的各種瞬變壓強，從而掌握燃燒室壓強變化規(guī)律，為設(shè)計和評價發(fā)動機提供依據(jù)；測量石油化工領(lǐng)域各種反應(yīng)釜、冶煉塔、采油井下的壓力，為安全生產(chǎn)、提高石油產(chǎn)量提供判據(jù)；測量能源動力、軍用火工品、汽車工業(yè)等在特種環(huán)境下的壓力等。這些領(lǐng)域?qū)δ透邷貕毫鞲衅鞯哪晷枨罂偭考s為4萬只，隨著國 民經(jīng)濟和國防現(xiàn)代化的發(fā)展，高溫壓力傳感器的市場需求將以每年10%～32%的速率遞增。而常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進行壓力測量，超過120℃時，傳感器的性能會嚴重惡化以至失效，當傳感器遇到被測流體大于1000℃瞬時高溫沖擊時，敏感元件就會被燒壞，導(dǎo)致信號處理系統(tǒng)和電路失調(diào)。長期以來，美國、瑞士、英國等國外公司的耐高溫壓力傳感器產(chǎn)品壟斷了國際市場，我國高溫壓力傳感器產(chǎn)品主要依賴進口， 一直受制于人。
研制我國有知識產(chǎn)權(quán)的耐高溫壓力傳感器列入國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃后，西安交大蔣莊德教授率領(lǐng)課題組歷時4年努力，終于完成了這一高科技攻關(guān)項目。教育部日前組織專家對這一項目進行科技成果鑒定后認為，西安交大精密工程研究所利用MEMS(微型機械電子系統(tǒng))技術(shù)，研制出的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在-30℃～250℃環(huán)境下進行壓力測量，可完成1000MPa以下任意量程范圍的壓力測量， 能承受2000℃瞬時高溫沖擊。該項目屬國內(nèi)首創(chuàng)，有效解決了我國航空航天、石油化工、汽車工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測量的技術(shù)難題，解決了瞬時高溫沖擊下傳感器失效的難題，打破了國外同類產(chǎn)品對我國傳感器市場的壟斷，提升了我國這一行業(yè)的整體水平和國際競爭能力，具有很高的推廣和使用價值。
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號